Манометри с тензодатчици (тензометрични манометри)
Фиг. 2.11 Диаграма на измервателния преобразувател за налягане DI
Устройствата се предлагат в няколко модификации, предназначени за измерване на свръхналягане (DP), вакуум (DW), свръхналягане и вакуум (DIV), абсолютно налягане (DA), диференциално налягане (DP), хидростатично налягане (DG).
Йонизационни датчици
Йонизационни датчици - най-чувствителните измервателни уреди за много ниско налягане. Йонизационните манометри се използват за измерване на налягането в диапазона 10 -1 ... 10 -8 Pa. Те измерват налягането индиректно чрез измерване на йони, образувани, когато електроните бомбардират газ. Колкото по-ниска е плътността на газа, толкова по-малко йони ще се образуват. Термоелектроните се сблъскват с газови атоми и генерират йони. Йоните се привличат към електрода при подходящо напрежение, известно като колектор. Токът на колектора е пропорционален на скоростта на йонизация, която е функция от налягането в системата. По този начин, измерването на тока на колектора позволява да се определи налягането на газа. Има няколко подтипа йонизационни измервателни уреди.
Повечето йонни манометри се предлагат в два вида: горещ катод и студен катод. Третият вид е въртящ се манометър на ротора по-чувствителни и скъпи от първите две. Кога горещ катод електрически нагрятата нишка създава електронен лъч. Електроните преминават през манометъра и йонизират газовите молекули около себе си. Получените йони се събират върху отрицателно зареден електрод. Токът зависи от броя на йони, който от своя страна зависи от налягането на газа. Принцип на манометъра с студен катод същото, с изключение на това, че електроните се образуват в разряда от създадения електрически разряд с високо напрежение.