Фото печат - Голяма енциклопедия на нефт и газ, статия, страница 1

Фотопечатите са оборудвани с автоматично устройство за преместване на масата с фотографски плочи на дадена стъпка, извършване на необходимия брой анимации в редове и колони, като настройва времето за експозиция индивидуално за всяка фотомаска. [един]

Анимацията се извършва във фотоумножители (фотомапи), където в интервалите между експозицията на всяка секция плочата на еталонната фотомаска се премества със стъпка, съответстваща на размера на чипа на микросхемата. Съществуват и многопозиционни фотопечати с обективи с много обективи, които едновременно създават голям брой изображения, което ускорява процеса. Работните шаблони се изработват от референтния шаблон чрез контактно отпечатване, които се използват в процеса на фотолитография. Когато шаблонът се нанесе върху полупроводниковите пластини, повърхността му се поврежда и шаблонът се износва. [2]

Таблица 29 показва основните характеристики на фотоповторителя (фотоампери), предназначени за получаване на еталонни фотомаски чрез многопроекционна фотопечат (анимация) на междинното отрицателно изображение. На многопозиционни фото-ретранслатори всички фотомаски, включени в комплекта, се правят едновременно. Това позволява да се увеличи производителността на процеса и да се подобри съвместимостта на зададените фотомаски. [3]

Един от факторите, които влошават съвместимостта на фотомаски, направени на многопластови фотоампери, е неравномерността на водачите на масата, която причинява различни линейни премествания и завъртания на изображения в различни позиции на фотокампата. Когато се използват аеростатични водачи, праволинейността на каретките не е по-лоша от 0,1 микрона. Друг фактор (както при фотопечат на едно място) е грешката в местоположението на оригиналното изображение спрямо посоката на движение във всяка позиция на фото печат. Въртенето на изображенията, еднакви в рамките на една и съща фотомаска, се оказва различно при различните фотомаски от комплекта, което влошава тяхната съвместимост. [пет]