Тънкопластови метални материали и апликации

материали

The фотолитографията е последваща обработка понякога се прилага върху метални слоеве, получени чрез вакуумни процеси. Това е процес на офорт, широко използван в полупроводниковата индустрия за производството на електронни компоненти. Тази техника се състои от използване на фоточувствителна смола, излагането на последната чрез хромирана маска, дава възможност да се получат шарки върху равнинен компонент.

Ще дефинираме различните техники за фотолитография

"Класическа" фотолитография

Няколко стъпки съставят класическия процес на фотолитография:

Предварително се извършва метално (или оптично) отлагане. След това повърхността е покрита с повече или по-малко вискозна смола чрез техника на центрофугиране (дебелина, която ще зависи от скоростта на ецване и дебелината на металния слой)

Смолата се отгрява. След това тази смола се излага с ултравиолетово лъчение чрез хромирана маска, представяща шарките

В зависимост от естеството на смолата (положителна или отрицателна) или частта, изложена на UV, се елиминира или обратно. Това е етапът на откровението.