Преобразуватели на различни видове енергия

МИКРОМЕХАНИЧНО УСТОЙЧИВОСТ НА ШАМ

ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ

ЗА Х Л А В Л Е Н И Е

1. Физически ефекти като основа за изграждане на сензори. 4

2. Кристалната решетка на силиций. 8

3. Индексите на Милър. десет

5. Математическо описание на еластичните свойства на силиция. петнадесет

5. Механични параметри на силиция. 19.

6. Видове легиране на тензодатчици. 21.

7. Тензорезистивният ефект и неговото математическо описание. 24

8. Основен тензорезистивен деформационен ефект. ... 29

9. Фактори, които определят стойността на основните тензорезистивни коефициенти. 33

10. Произволна ориентация на тензорезисторите. 35

11. Полупроводникови тензодатчици в мостови вериги с постоянен ток ………. 39

12. Метрологични характеристики на мостови тензорезистивни преобразуватели …………. 43

13. Технологични процеси на производство на конвертори. 47

14. Чувствителни елементи на интегрални измервателни трансформаторни подстанции …………. .58

15. Вграден преобразувател за измерване на налягането (IIPD) …… .63

16. Датчик за измерване на ускорението ……………………………… 72

17. Проектиране на интегрални измервателни датчици ...... .77

ПРИЛОЖЕНИЕ 1. Изчисляване на деформацията и механичните напрежения за силициева мембрана с кръгла и елипсовидна форма. 88

ПРИЛОЖЕНИЕ 2. Изчисляване на деформацията и механичните напрежения за силициева мембрана с квадратна форма. 91

ПРИЛОЖЕНИЕ 3. Проектиране на интегрални тензодатчици. 96

ВЪВЕДЕНИЕ

Сензоризиране на производствените дейности, т.е. заместването на човешките сетивни органи със сензори трябва да се разглежда като третата индустриална революция, след, след първите две - машинно-енергийна и информационно-компютърна.

Структурно автоматизираните устройства наподобяват човешки биологични системи. Аналогията между човек и автомат по отношение на методите за получаване на сигнали, обработката им, натрупването им, както и преобразуването на сигнали е представена в табл. 1. Сензорните органи на човек съответстват на сензори в автомати (или роботи), а функциите на активните органи се изпълняват от изпълнителни устройства. Компютърът със своята система за памет служи като аналог на мозъка като централен блок за обработка на сигнала. Имайте предвид, че комбинацията "сензор - компютър - задвижващ механизъм" е автоматична система за управление (информационна или информационна - контролна система).

маса 1

Аналогията между процесите на получаване, обработка и

Преобразуване на сигнала в биологични и технически системи

ФИЗИЧНИ ЕФЕКТИ КАТО ОСНОВА

СТРОИТЕЛНИ СЕНЗОРИ

Практическото изпълнение на робота е свързано с откриването (или намирането) на такъв физически ефект, дизайнерско решение и технология, която отговаря на изискванията за точност, надеждност и цена. „Тесното място“ беше и в известен смисъл остава първото звено от веригата на трансформациите - това е сензорът.

Сензор обикновено се нарича евтин, но надежден приемник и предавател на измерената стойност, който има достатъчна точност и е подходящ за серийно производство.

---