Принос към епитаксията на алуминий и бор нитриди чрез химическо отлагане на пари при

Принос към епитаксията на алуминий и борни нитриди чрез химическо отлагане на пари при висока температура Nicolas Coudurier За цитиране на тази версия: Nicolas Coudurier. Принос към епитаксията на алуминий и бор нитриди чрез химическо отлагане на пари при висока температура. Материали. Университет в Гренобъл, 2014. Френски. . HAL Id: tel-00994936 https://tel.archives-ouvertes.fr/tel-00994936 Изпратено на 22 май 2014 г. HAL е мултидисциплинарен архив с отворен достъп за депозиране и разпространение на научноизследователски документи, независимо дали са публикувани или не. Документите могат да идват от учебни и изследователски институции във Франция или в чужбина или от публични или частни изследователски центрове. Мултидисциплинарният отворен архив HAL е предназначен за депозиране и разпространение на научни документи на научно ниво, публикувани или не, от френски или чуждестранни образователни и изследователски институции, публични или частни лаборатории.

чрез

ТЕЗА За получаване на ранг ДОКТОР ОТ УНИВЕРСИТЕТА В ГРЕНОБЛ Специалност: Материали, механика, строителство, електрохимия Указ на министъра: 7 август 2006 г. Представено от Никола КУДУРИЕ Теза, режисирана от Мишел ПОНС и съвместно режисирана от Рафаел БОЙШОТ, изготвена в лабораторията SIMaP в докторантското училище „I-MEP²“ „Материалостроене, механика, околна среда, енергетика, процес, производство“ Принос към епитаксията на алуминий и борни нитриди чрез химическо отлагане на пари при висока температура Дисертацията е публично защитена на 16 януари 2014 г. пред журито в състав: г-жа Elisabeth BLANQUET директор на научните изследвания в SIMaP Гренобъл, президент г-н Gabriel FERRO директор на научните изследвания в LMI Lyon, репортер г-жа Anne HENRY професор в Технологичния институт Linköping (Швеция), репортер г-н Francis MAURY Директор на научните изследвания в CIRIMAT Тулуза, изпит Г-н Raphaël BOICHOT Лектор в Гренобъл INP, съ-ръководител Г-н Michel PONS Директор на re изследвания в SIMaP Гренобъл, директор на дипломната работа г-н Vincent FELLMANN инженер, ACERDE, изпитващ г-н Didier PIQUE инженер, SPADE, изпитващ

И накрая, благодаря на бившите докторанти и докторанти в лабораторията Винсент, Клеман, Жан Жан, Клер, Корали, Одри и Тибо за улесняването на интеграцията ми при пристигането ми в лабораторията. Надявам се да има или няма никой в ​​този списък с благодарности. Тези три години в ораторията на SIMaP бяха фантастични и обогатяващи от лична и професионална гледна точка. Надявам се, че нашите докторанти все още ще се възползват от условията на труд, добре дошли и подкрепата, която изпитах в ТОП групата. 3 Страница

5.1.3. Връзка между пренасищане по време на растеж, темп на растеж и температура. 135 5.2. Случай на растеж на БН. 139 5.2.1. Избор на субстрат. 139 5.3. Сравнение на растежа на AlN и BN. 139 5.4. Библиография глава V. 140 Заключения. 143 7 Страници

Съдържание 8 Страници

изложена е морфология и кристално качество на образуваните слоеве. Добавянето на междинен етап на растеж също се развива в тази част. Глава IV обхваща резултатите от растежа на БН. Процесът е оптимизиран чрез изучаване на параметрите на съотношението на скоростта на потока на прекурсорите и температурата. Представени са и тестове за растеж върху метален субстрат. И накрая, глава V обобщава експерименталните и термодинамичните резултати, получени по двете изследвани системи. Подробно обяснение на механизмите за растеж дава по-добро разбиране на влиянието на съотношението N/Al върху състоянието на слоевете AlN o. Разбирането на ефектите от различните етапи на растеж помага да се обяснят резултатите в глава III за растежа на AlN. Развито е и влиянието на сустрата върху растежа на БН. Накрая се прави сравнение между скоростта на растеж, пренасищането на газовата фаза, температурата и кристалното състояние на образуваните слоеве. 11 Страници